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      半導體特氣檢漏儀

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      半導體特氣檢漏儀特點:
      ¬   于檢測半導體特氣的微量泄漏。
      ¬   采用聲光報警。
       
      半導體特氣檢漏儀規 格
      型       號
      XP-703D
      檢測對象氣體
      半導體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等)
      檢測原理
      型半導體式
      采樣方式
      自動吸引式
      可檢測濃度
      (單位:ppm)
      砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氫氣
      AsH3    PH3       B2H6      SiH4       H2
      0.2     0.3     0.1        0.5        1.0
      檢測表示
      蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍
      應答速度
      10秒以內
       
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